国家/地区 韩国(16) 世界知识产权组织(4) 美国(3)
IPC部 G(9) C(7) B(4)
H(4)
IPC大类 G01(9) C01(6) B01(3)
C23(3) H01(3) G06(2)
IPC小类 C01B(6) G01N(5) B01J(3)
C23C(3) H01L(3) G01B(2)
G01L(2) G06F(2)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(3) C23C016/26(3)
B01J019/24(2) C01B032/194(2)
发明人 BAE M H(3) BAEK U B(3) NAHM S H(3)
HWANG C Y(2) JOO I L(2) JUNG H K(2)
KIM M S(2) KIM N(2) MINHOON P(2)
YON K P(2) YONG H S(2)
公开年 2015(4) 2014(2) 2016(2) 2017(2)
申请年 2013(3)  2015(3)  2012(2)  2014(2)  2018(2) 
专利权人 KOREA RES INST STANDARDS SCI(16)