国家/地区 英国(9) 世界知识产权组织(6) 台湾(3) 德国(2) 美国(2)
IPC部 C(8) H(7)
IPC大类 C01(7) H01(7) C23(6)
C30(3)
IPC小类 C01B(7) H01L(7) C23C(6)
C30B(3)
IPC C01B032/186(6) C23C016/26(6) H01L021/02(5)
C23C016/02(4) C23C016/455(3) C30B025/18(3)
C30B029/02(3) H01L029/16(3) C01B032/182(2)
C23C016/40(2) H01L021/20(2) H01L051/52(2)
发明人 DIXON S(10)
公开年 2022(8) 2023(2)
申请年 2021(5)  2022(5) 
专利权人 PARAGRAF LTD(10)