国家/地区 美国(43) 韩国(33) 中国(14) 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 H(41) C(11) B(5)
G(4)
IPC大类 H01(40) H10(10) C23(8)
C01(5) B23(2) B82(2)
C08(2)
IPC小类 H01L(37) H10B(10) C23C(8)
C01B(5) H01M(3) B82Y(2)
IPC H01L021/02(16) H01L029/16(9) H01L029/423(8)
H01L029/66(8) H01L029/786(8) H01L021/768(7)
H01L029/78(7) H01L021/285(6) H01L023/532(6)
H01L029/40(6) C23C016/26(5) H01L029/06(5)
H01L029/08(5) H01L029/417(5) H01L029/51(5)
发明人 SHIN K(15) BYUN K(12) SHIN K W(12)
LEE C(11) SHIN H(11) BYUN K E(10)
LEE C S(10) KIM S(9) KIM C(8)
KIM H(6) JIN C(5) KIM K(5)
LEE E(5) LEE J(5) SEOL M(5)
公开年 2023(46)
申请年 2022(35)  2021(8)  2023(3) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(46)