国家/地区 中国(188) 世界知识产权组织(15) 美国(11) 日本(4)
IPC部 C(109) H(63) G(43)
B(26) A(7)
IPC大类 C01(72) H01(63) G01(42)
C23(34) B82(19) C30(18)
C09(12) A61(6) B01(3)
B32(3) C12(3) C22(3)
B05(2) B81(2) C03(2)
IPC小类 C01B(72) H01L(56) C23C(34)
G01N(34) B82Y(19) C30B(18)
C09K(11) A61K(4) A61L(3)
B32B(3) G01D(3) G01R(3)
A61P(2) B05D(2) B81C(2)
IPC C01B031/04(40) C23C016/26(20) C01B032/186(17)
B82Y040/00(14) C01B032/194(12) C30B029/02(12)
H01L021/28(11) H01L021/336(11) B82Y030/00(10)
H01L021/02(10) C01B032/184(9) C09K011/65(8)
C23C016/02(8) C01B032/19(6) C30B025/18(6)
发明人 XIE X(63) DING G(47) DI Z(37)
ZHANG Y(36) ZHANG M(32) YU G(31)
CHEN Z(30) JIANG M(30) WANG H(30)
XUE Z(28) WU T(23) ZHANG H(22)
SUI Y(21) WANG G(18) XIE H(18)
公开年 2014(30) 2015(25) 2017(23) 2021(19) 2022(19) 2013(16) 2016(16) 2018(13) 2020(13) 2012(9) 2023(5)
申请年 2015(32)  2013(28)  2014(22)  2016(17)  2021(17)  2022(16)  2012(14)  2019(11)  2017(10)  2020(10)  2018(7)  2011(3)  2023(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(190)