国家/地区 中国(14) 美国(2)
IPC部 C(8) G(5) H(5)
B(2)
IPC大类 C01(6) G01(5) H01(5)
C23(3) B82(2)
IPC小类 C01B(6) G01N(5) H01L(5)
C23C(3) B82Y(2)
IPC C01B032/186(3) G01N027/30(3) H01L021/02(3)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L021/265(2)
H01L021/324(2)
发明人 WANG X(14)
公开年 2017(5) 2016(3) 2021(3)
申请年 2016(4)  2015(3)  2021(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(14)