国家/地区 中国(13)
IPC部 H(7) C(5) G(4)
B(2)
IPC大类 H01(7) C01(4) G01(4)
B82(2) C23(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) G01N(4)
B82Y(2) C23C(2)
IPC H01L021/28(3) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C01B032/194(2) G01N027/30(2) H01L021/02(2)
H01L021/285(2) H01L029/423(2)
发明人 DI Z(5) XUE Z(5) LIU G(4)
TIAN Z(4) ZHANG M(4) LI X(3)
WANG X(3) XU P(3) DING G(2)
LI M(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(13)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(13)