国家/地区 台湾(38)
IPC部 H(37) C(8) G(7)
IPC大类 H01(36) C01(7) G03(5)
C23(3)
IPC小类 H01L(36) C01B(7) G03F(5)
C23C(3)
IPC H01L021/768(20) H01L023/532(19) H01L023/522(13)
H01L023/528(10) H01L029/16(9) H01L029/66(9)
H01L029/78(9) H01L021/02(6) H01L021/336(6)
H01L021/76(6) H01L029/06(6) H01L029/786(6)
C01B032/182(5) G03F001/62(5) H01L023/48(5)
发明人 LEE M(11) LI M(11) YANG S(11)
SHUE S(9) SUI X(8) CHAN Y(6)
LIN C(6) LEE H(5) LEE M H(5)
LI S(5) LI X(5) TSAI C(5)
ZHAN Y(5) CHENG C(4) KHADERBAD M A(4)
公开年 2021(12) 2022(9) 2023(6) 2018(4) 2017(3)
申请年 2022(10)  2021(9)  2019(6)  2016(4)  2013(2)  2015(2)  2017(2)  2020(2) 
专利权人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG CO LTD(38)