国家/地区 美国(17)
IPC部 H(11) C(7) G(6)
B(3)
IPC大类 H01(9) C09(3) C01(2)
C08(2) C23(2) G01(2)
G02(2) H05(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(2) C09J(2)
C23C(2) G01N(2) G02F(2)
H05B(2)
IPC H01L021/768(4) H01L023/522(4) H01L023/532(4)
H01L023/528(3) C01B031/04(2) C09J005/00(2)
C09J011/04(2) C09J133/00(2) C09J163/10(2)
G02F001/1339(2) H01L021/02(2)
发明人 CHEN H(17)
公开年 2021(7) 2016(3) 2020(2)
申请年 2019(4)  2020(3)  2021(3)  2015(2)  2016(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(4) BOE TECHNOLO.(3) BEIJING BOE .(2) BEIJING BOE .(2)
UNIV CHANG G.(2)