国家/地区 中国(16)
IPC部 H(14) C(4) G(3)
IPC大类 H01(13) C01(2) C30(2)
IPC小类 H01L(13) C01B(2) C30B(2)
IPC H01L033/00(7) H01L031/18(4) H01L021/02(3)
H01L031/0352(3) H01L033/06(3) H01L033/32(3)
C01B032/186(2) C01B032/194(2) H01L031/0304(2)
H01L033/12(2) H01L033/42(2)
发明人 CHEN Y(16)
公开年 2020(4) 2021(4) 2022(3) 2023(3)
申请年 2020(6)  2022(4)  2021(3) 
专利权人 CHANGCHUN INST OPTICS FINE MECHANICS P(16)