国家/地区 中国(17) 台湾(17) 美国(17) 日本(2)
IPC部 B(13) C(11) H(10)
IPC大类 B82(13) H01(10) C01(9)
C23(4) C30(3)
IPC小类 B82Y(11) H01L(10) C01B(9)
B82B(3) C23C(3) C30B(3)
IPC C01B031/04(8) H01L033/00(8) B82Y040/00(7)
H01L033/02(7) H01L033/12(6) H01L021/02(5)
H01L021/20(4) B82Y030/00(3) B82Y099/00(3)
H01L029/16(3) H01L033/10(3) H01L033/40(3)
B82B001/00(2) C01B031/02(2) C30B025/04(2)
发明人 FAN S(17)
公开年 2013(17)
申请年 2012(17) 
专利权人 HON HAI PREC.(17) HONGFUJIN PR.(17) UNIV TSINGHU.(17) FAN S(3)
WEI Y(3)