国家/地区 美国(11)
IPC部 H(9) B(5) C(4)
G(2)
IPC大类 H01(9) C01(4) B32(3)
C25(2) G01(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(4) B32B(3)
C25F(2)
IPC C01B031/04(4) H01L029/16(3) H01L029/49(3)
H01L029/66(3) B32B038/10(2) C25F003/02(2)
C25F005/00(2) C25F007/00(2) H01L021/336(2)
H01L021/84(2) H01L029/775(2) H01L029/78(2)
H01L029/786(2)
发明人 HAN S(13)
公开年 2014(6) 2013(5) 2012(2)
申请年 2012(13)
专利权人 INT BUSINESS.(10) HCGT LTD(2)