国家/地区 美国(23) 韩国(19) 中国(8) 欧洲专利局(EPO)(8) 日本(2)
IPC部 H(20) C(10) G(2)
IPC大类 H01(20) C01(10) C23(7)
G06(2) H10(2)
IPC小类 H01L(20) C01B(10) C23C(7)
G06N(2) H10B(2)
IPC H01L029/16(10) C01B032/186(9) H01L021/02(9)
H01L029/06(7) C23C016/26(6) H01L021/285(5)
H01L023/532(5) H01L029/423(5) H01L029/786(5)
C01B032/182(4) C23C016/50(4) H01L021/768(4)
C23C016/02(3) C23C016/513(3) H01L021/324(3)
发明人 KIM C(24)
公开年 2023(8) 2020(7) 2021(5) 2022(3)
申请年 2022(7)  2019(5)  2021(5)  2020(4) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(24)