国家/地区 中国(12)
IPC部 H(12) C(4) B(2)
G(2)
IPC大类 H01(12) C01(4) C23(3)
G06(2) H10(2)
IPC小类 H01L(12) C01B(4) C23C(3)
G06N(2) H01B(2) H10B(2)
IPC H01L029/06(6) H01L029/16(4) H01L029/423(4)
H01L029/786(4) C23C016/26(3) H01L021/02(3)
H01L029/08(3) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
C23C016/50(2) H01B001/04(2) H01L021/336(2)
H01L027/11582(2) H01L027/32(2) H01L029/417(2)
发明人 KIM C(12)
公开年 2023(5) 2020(2) 2021(2)
申请年 2022(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(8)

SHIN K, KIM C, YAMAMOTO K, LEE C, SONG H, LEE E, BYUN K, SHIN H, AN S, SHEN J, JIN C, SHAN B, LI C, SONG X, LI Y, BIAN Q, SHEN X, AN X, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, BYUN K E, SHIN H J, AHN S J

BYUN K, SHIN K, KIM Y, SHIN H, SONG H, LEE C, KIM C, CHO Y, BIAN Q, SHEN J, JIN Y, SHEN X, SONG X, LI C, JIN C, ZHAO L, BYUN K E, SHIN K W, HUN K Y, SHIN H J, SONG H J, LEE C S, CHO Y C