国家/地区 美国(27) 韩国(23) 中国(11) 欧洲专利局(EPO)(7) 日本(3)
IPC部 H(26) C(8) G(6)
B(5)
IPC大类 H01(25) C01(4) C23(4)
B01(3) G11(3) H10(3)
B82(2) G01(2) G06(2)
IPC小类 H01L(24) C01B(4) C23C(4)
G11C(3) H10B(3) B01D(2)
G06N(2) H01B(2) H01S(2)
IPC H01L029/16(11) H01L029/66(9) H01L021/02(8)
H01L027/108(4) H01L029/06(4) H01L029/786(4)
H01L045/00(4) C01B031/04(3) C23C016/02(3)
C23C016/455(3) H01L021/20(3) H01L023/00(3)
H01L027/24(3) B01D053/22(2) B01D067/00(2)
发明人 KIM H(29)
公开年 2023(6) 2022(5) 2021(4) 2015(3) 2016(3) 2017(3) 2013(2) 2014(2)
申请年 2022(7)  2020(6)  2013(4)  2016(4)  2015(3)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(29)