国家/地区 中国(17)
IPC部 H(13) C(4)
IPC大类 H01(12) C01(3)
IPC小类 H01L(12) C01B(3)
IPC H01L031/18(8) H01L031/0352(4) C01B031/04(3)
H01L031/074(2) H01L031/09(2)
发明人 LIN S(17)
公开年 2015(17)
申请年 2015(11)  2014(6) 
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(13)