国家/地区 中国(10)
IPC部 H(5) C(4) B(2)
IPC大类 H01(5) B01(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) B01J(2) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/336(2) H01L029/16(2)
发明人 MA P(10)
公开年 2013(10)
申请年 2013(9) 
专利权人 INST MICROEL.(6) CHINESE ACAD.(2)