国家/地区 日本(13) 美国(7) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(9) C(8) B(6)
G(3)
IPC大类 H01(9) C01(8) B82(3)
B01(2) G01(2)
IPC小类 C01B(8) H01L(8) B82Y(3)
B01J(2) G01N(2) H01B(2)
H01J(2)
IPC H01L029/786(7) C01B031/02(5) H01L021/336(5)
H01L029/06(5) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
H01B001/04(2) H01L021/20(2) H01L021/28(2)
H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(13)
公开年 2010(5) 2011(2) 2012(2)
申请年 2010(4)  2009(3)  2011(2) 
专利权人 HITACHI LTD(9) OKAI M(5) HIROOKA M(3) HITACHI CHEM.(2)
HITACHI HIGH.(2) WADA Y(2)