国家/地区 德国(11) 美国(11) 中国(8)
IPC部 H(10) C(5) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(9) C01(5) G01(4)
B81(3) B82(2) H04(2)
IPC小类 H01L(9) C01B(5) B81B(3)
B81C(3) B82Y(2) G01N(2)
G01R(2) H04R(2)
IPC H01L029/16(7) H01L021/02(4) B81B007/02(3)
B81C001/00(3) C01B031/04(3) H01L021/324(3)
H01L029/66(3) B81B003/00(2) G01N027/12(2)
G01N033/00(2) G01R033/07(2) H01L021/20(2)
H01L021/28(2) H01L021/285(2) H01L021/336(2)
发明人 RUHL G(11)
公开年 2015(3) 2016(3) 2018(2)
申请年 2014(3)  2015(3)  2016(3) 
专利权人 INFINEON TEC.(11) RUHL G(5) DEHE A(2)