| 国家/地区 | 韩国(8) 美国(6) 日本(3) 中国(2) |
| IPC部 |
H(7)
B(5)
C(3)
|
| IPC大类 |
H01(7)
B82(3)
C01(3)
B32(2) C23(2) |
| IPC小类 |
H01L(6)
C01B(3)
B32B(2)
B82Y(2) C23C(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
H01L029/786(3)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L021/00(2) H01L021/336(2) H01L029/775(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
SEO S A(8)
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| 公开年 | 2011(7) |
| 申请年 |
2010(8)
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| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(8) |
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