国家/地区 美国(10)
IPC部 H(9) C(8) B(5)
G(3)
IPC大类 H01(9) C01(6) C23(6)
B82(3) G01(3)
IPC小类 H01L(9) C01B(6) C23C(6)
B82Y(3) G01N(2)
IPC C01B032/186(6) H01L029/16(6) C23C016/26(5)
H01L021/02(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B032/182(3) C23C016/56(3) H01L021/04(3)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) C23C016/46(2)
H01L029/66(2) H01L043/14(2)
发明人 THOMAS S(10)
公开年 2022(5) 2021(4)
申请年 2020(4)  2021(4) 
专利权人 PARAGRAF LTD(9)