国家/地区 中国(11) 台湾(10) 美国(10) 日本(2)
IPC部 H(10) B(6) C(5)
IPC大类 H01(10) B82(6) C01(3)
C30(3) C23(2)
IPC小类 H01L(10) B82Y(4) C01B(3)
C30B(3) B82B(2) C23C(2)
IPC H01L033/00(8) H01L033/02(7) H01L033/12(6)
H01L021/02(5) H01L021/20(4) B82Y099/00(3)
H01L029/16(3) H01L033/10(3) H01L033/40(3)
B82B001/00(2) C01B031/04(2) C30B025/04(2)
C30B025/18(2) H01L021/205(2) H01L021/36(2)
发明人 WEI Y(11)
公开年 2013(11)
申请年 2012(11)
专利权人 HON HAI PREC.(10) HONGFUJIN PR.(10) UNIV TSINGHU.(10) FAN S(3)
WEI Y(3)