国家/地区 中国(11)
IPC部 H(8) B(5) C(2)
IPC大类 H01(8) B82(3) C01(2)
IPC小类 H01L(7) B82Y(3) C01B(2)
IPC B82Y010/00(2) C01B031/04(2) H01L021/02(2)
H01L021/04(2) H01L029/49(2) H01L029/78(2)
发明人 WEI Z(11)
公开年 2012(11)
申请年 2012(9)  2011(2) 
专利权人 UNIV PEKING(10)