国家/地区 中国(12) 美国(2)
IPC部 H(9) C(5) B(2)
IPC大类 H01(9) C01(3) B82(2)
C09(2)
IPC小类 H01L(9) B82Y(2) C01B(2)
C09K(2)
IPC H01L029/786(7) H01L021/336(5) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) H01L021/04(2)
发明人 ZHANG K(13)
公开年 2013(9) 2014(4)
申请年 2013(13)
专利权人 UNIV XIDIAN(8)