国家/地区 中国(13)
IPC部 H(9) B(6) C(4)
IPC大类 H01(9) B82(5) C01(3)
IPC小类 H01L(8) B82Y(5) C01B(3)
IPC C01B031/04(3) B82Y010/00(2) B82Y040/00(2)
H01L021/04(2) H01L027/15(2) H01L029/49(2)
H01L029/78(2)
发明人 ZHAO H(13)
公开年 2012(6) 2013(4) 2011(3)
申请年 2012(4)  2013(4)  2011(3)  2010(2) 
专利权人 UNIV PEKING(13)