国家/地区 中国(13)
IPC部 C(9) H(5)
IPC大类 C01(7) H01(5) C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(5) C23C(2)
IPC C01B032/186(4) C01B031/04(3) H01L021/02(3)
H01L021/265(2) H01L021/324(2)
发明人 ZHENG X(13)
公开年 2015(5) 2017(3) 2014(2) 2016(2)
申请年 2015(7)  2013(3)  2014(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(13)