国家/地区 中国(10) 美国(8) 日本(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 墨西哥(2)
IPC部 B(15)
IPC大类 B82(15)
IPC小类 B82Y(15) C23C(15) C01B(9)
H01L(4) B01J(3) G01N(3)
IPC B82Y040/00(15)
发明人
公开年 2017(15)
申请年 2016(10)  2017(5) 
专利权人 HANWHA TECHW.(2)