国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10) B(5) H(4)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10) C23C(9) B32B(3)
B82Y(3) B01J(2) B82B(2)
C04B(2) H01L(2) H01M(2)
IPC C01B032/05(10)
发明人
公开年 2015(3) 2016(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2014(3)  2021(3) 
专利权人