国家/地区 中国(11) 美国(8) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(2)
IPC部 C(17) H(4) B(3)
IPC大类 C23(17) C01(8) H01(4)
C30(3)
IPC小类 C23C(17) C01B(8) C30B(3)
H01L(3)
IPC C23C014/06(17)
发明人 CHEN Z(3) HAO Y(3) LV J(3)
ZHANG J(3)
公开年 2016(8) 2017(7) 2018(2)
申请年 2016(17)
专利权人 KOREA INST S.(3) UNIV XIDIAN(3)