国家/地区 中国(13) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) H01L(4) G02F(3)
H01M(2)
IPC C23C014/08(15)
发明人 CHEN Y(2)
公开年 2021(15)
申请年 2021(12)  2020(3) 
专利权人