国家/地区 中国(10)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13) H01(8) C01(4)
B22(2) C25(2)
IPC小类 C23C(13) H01L(7) C01B(4)
B22F(2) C25D(2)
IPC C23C014/24(13)
发明人 LI M(2) WANG H(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(9)  2020(4) 
专利权人