国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12) G01(3) H01(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(12) H01L(3) C30B(2)
G01N(2)
IPC C23C014/35(12)
发明人 ZHANG J(12)
公开年 2016(3) 2021(3) 2022(3) 2018(2)
申请年 2016(3)  2021(3)  2022(3)  2017(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(4) LANZHOU CHEM.(3) UNIV CHANGCH.(2)