| 国家/地区 | 中国(8) 美国(5) 台湾(3) 日本(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
C(14)
|
| IPC大类 |
C23(14)
C01(6)
C30(3)
H01(3) B32(2) B82(2) C09(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(14)
C01B(6)
C30B(3)
B32B(2) B82Y(2) C25D(2) H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(14)
|
| 发明人 |
ZHANG Y(3)
CHEN Z(2)
DENG R(2)
GE X(2) SUI Y(2) YU G(2) ZHANG H(2) |
| 公开年 | 2016(8) 2015(4) 2017(2) |
| 申请年 |
2015(14)
|
| 专利权人 | SHANGHAI INS.(3) |
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
ZHANG Y, YU G, GE X, ZHANG H, CHEN Z, SUI Y, DENG R
CAFFIO M, MARQUORDT C, ARVIDSEN J H, HAUPT R A B
TZENG Y, CHANG C, TZENG Y H
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
HSIEH Y, HOFMANN M, CHIU Y
LOBEZ C J M, DIMITRAKOPOULOS C D, FRANKLIN A D, SMITH J T
FANG C, JIN K, LIU X, WANG L, YANG C, ZHANG L, ZHANG Y
