国家/地区 日本(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/02(10)
发明人 MATSUMOTO T(3) IFUKU R(2)
公开年 2013(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2014(2)  2020(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) SAMSUNG ELEC.(2)