国家/地区 中国(6) 韩国(3) 美国(3)
IPC部 C(13) H(8) G(4)
B(2)
IPC大类 C23(13) H01(8) C01(4)
G01(3) C30(2) G02(2)
IPC小类 C23C(13) H01L(5) C01B(4)
C30B(2) G02B(2) H01B(2)
IPC C23C016/34(13)
发明人 LU J(2) ZHANG Y(2)
公开年 2022(13)
申请年 2022(7)  2021(4)  2020(2) 
专利权人