国家/地区 |
美国(28)![]() |
IPC部 |
C(28)![]() |
IPC大类 |
C23(28)
H01(22)
C01(18)
B82(10) C30(9) B32(2) |
IPC小类 |
C23C(28)
C01B(18)
H01L(17)
B82Y(9) C30B(9) H01G(5) B32B(2) H01J(2) |
IPC |
C23C016/34(28)![]() |
发明人 |
ELSAYED K A M(5)
MAAROUF A A(5)
LEE C(2)
LEE C S(2) SHIN H(2) SHIN H J(2) |
公开年 | 2021(9) 2013(4) 2022(3) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2023(2) |
申请年 | 2020(6) 2021(5) 2012(3) 2016(3) 2022(3) 2017(2) 2018(2) |
专利权人 | UNIV IMAM AB.(5) SAMSUNG ELEC.(3) |
SHIN H, SHIN K, LEE C, LEE C S, SHIN K W, SHIN H J
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N