国家/地区 美国(28)
IPC部 C(28)
IPC大类 C23(28) H01(22) C01(18)
B82(10) C30(9) B32(2)
IPC小类 C23C(28) C01B(18) H01L(17)
B82Y(9) C30B(9) H01G(5)
B32B(2) H01J(2)
IPC C23C016/34(28)
发明人 ELSAYED K A M(5) MAAROUF A A(5) LEE C(2)
LEE C S(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
公开年 2021(9) 2013(4) 2022(3) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2023(2)
申请年 2020(6)  2021(5)  2012(3)  2016(3)  2022(3)  2017(2)  2018(2) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(5) SAMSUNG ELEC.(3)