国家/地区 欧洲专利局(EPO)(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) C01B(11) B82Y(9)
B01J(4) H01L(4) C30B(3)
B81B(2) B82B(2) C03C(2)
C08K(2) C25D(2)
IPC C23C016/44(13)
发明人
公开年 2015(2) 2016(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2015(3)  2013(2)  2020(2)  2021(2) 
专利权人