国家/地区 中国(9) 美国(8) 台湾(6) 世界知识产权组织(5) 英国(3)
IPC部 C(20)
IPC大类 C23(20)
IPC小类 C23C(20) H01L(20) C30B(7)
C01B(6) H01J(2)
IPC H01L021/02(20)
发明人 GUINEY I(3) DIXON S(2) THOMAS S(2)
WU H(2)
公开年 2022(20)
申请年 2022(10)  2021(9) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3) APPLIED MATE.(2) SAMSUNG ELEC.(2)