国家/地区 美国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) C30B(9) C23C(8)
B82Y(5) B32B(4) H01L(3)
B05D(2) B82B(2) C23F(2)
IPC C30B025/18(9)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2013(2) 
专利权人