国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(8) H01(7) C23(5)
IPC小类 C01B(8) C23C(5) H01L(4)
H01M(2)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(3) C23C016/505(3)
C01B021/064(2) C01B025/00(2) C01B032/182(2)
C23C016/50(2) C23C016/511(2) H01L021/285(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2)
发明人 LEE C(10)
公开年 2022(5) 2023(3) 2021(2)
申请年 2021(10)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6)