国家/地区 中国(8) 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11) H01(4) B01(2)
C01(2) C09(2)
IPC小类 C23C(11) H01L(3) C01B(2)
C09D(2) H01J(2)
IPC C23C014/34(11)
发明人
公开年 2021(11)
申请年 2021(7)  2020(4) 
专利权人