| 国家/地区 | 中国(8) 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 |
C(11)
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| IPC大类 |
C23(11)
H01(4)
B01(2)
C01(2) C09(2) |
| IPC小类 |
C23C(11)
H01L(3)
C01B(2)
C09D(2) H01J(2) |
| IPC |
C23C014/34(11)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(11)
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| 申请年 | 2021(7) 2020(4) |
| 专利权人 |
NAKAJIMA A, TSUNOYAMA H, UNO M, GUNJI H, ANDO T, TSUKAMOTO K, TONA M, HIRATA N
YU X, TIAN Z, LI M, YU D, REN Z, REN L, FU Y
XU J, HU X, SANG C, RUAN J, ZHOU Q
HUANG L, LU H, MA Z, WANG C, FANG M, CAI G, GAO J, HUANG S
WU C, NI I, HSU Y, HUANG J, XU Y, WU Z
XIAO Y, CHEN Z, ZHOU J, TAN Y, ZHAO J, YAO L
