国家/地区 美国(25) 世界知识产权组织(14) 韩国(12) 中国(11) 日本(11) 欧洲专利局(EPO)(8) 台湾(6) 香港(2)
IPC部 C(28)
IPC大类 C01(28)
IPC小类 C01B(28) H01L(28) B82Y(15)
C23C(6) B01J(4) B32B(4)
H01B(4) B05D(3) H01J(3)
B44C(2) B82B(2) C07C(2)
IPC H01L021/02(28)
发明人 LEE J(3) LEE J H(3) SHIN H(3)
JUNG Y(2) JUNG Y S(2) KIM Y(2)
KIM Y S(2) LEE C(2) LEE C S(2)
LEE D W(2) SHIN H J(2) WOO Y(2)
WOO Y S(2)
公开年 2014(15) 2013(10) 2015(3)
申请年 2013(28)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) SHIN H(3) EMPIRE TECHN.(2) LEE J(2)
TOSHIBA KK(2) WOO Y(2)