国家/地区 美国(8) 韩国(6) 中国(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC H01L021/02(9)
发明人
公开年 2017(9)
申请年 2016(7) 
专利权人