国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9)
IPC C23C016/26(7) C01B031/02(5) C01B031/04(5)
C30B025/18(5) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C23C016/02(3) H01L021/02(3) H01L021/205(3)
H01L029/16(3) B32B009/00(2) B32B009/04(2)
C01B032/186(2) C23C016/34(2) C23C016/56(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(9)
申请年 2012(4)  2013(4) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)