国家/地区 中国(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C30(16)
IPC小类 C30B(16)
IPC C30B025/18(8) C30B029/02(8) C30B025/02(5)
H01L021/205(4) C23C016/26(3) H01L021/02(3)
C23C014/06(2) C23C014/35(2) C23C016/02(2)
C30B025/00(2) C30B028/14(2) C30B029/16(2)
C30B029/40(2)
发明人 WANG D(16)
公开年 2014(4) 2013(3) 2022(3)
申请年 2013(4)  2012(3)  2021(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(13) CHINESE ACAD.(2)