国家/地区 中国(4) 美国(4) 韩国(3) 台湾(3) 英国(2) 日本(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(7) B82Y(4)
B01J(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/56(9)
发明人
公开年 2016(9)
申请年 2015(5)  2014(3) 
专利权人