国家/地区 中国(33) 美国(23) 韩国(22) 世界知识产权组织(17) 印度(10) 日本(3) 台湾(3) 英国(2)
IPC部 C(82)
IPC大类 H01(82) C01(34) C23(30)
C09(21) B82(12) C08(12)
C30(10) G01(5) H05(5)
H10(4) C04(3) C22(3)
A61(2) B23(2) B32(2)
IPC小类 H01L(82)
IPC H01L021/02(23) C23C016/26(19) C01B032/186(13)
C23C016/02(13) H01L021/768(11) H01L021/285(10)
B82Y030/00(8) B82Y040/00(8) C01B032/182(7)
C30B025/18(7) H01L023/532(7) C08J005/18(6)
C23C016/455(6) C30B029/40(6) C23C016/34(5)
发明人 LEE C(4) LEE C S(4) SHIN K(4)
SHIN K W(4) BYUN K(3) BYUN K E(3)
KIM K(3) KIM S(3) LI X(3)
TANG X(3) WANG J(3) WANG X(3)
AHN S J(2) AN S(2) CHEN Z(2)
公开年 2023(82)
申请年 2022(52)  2021(17)  2023(13) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(8) APPLIED MATE.(3) TCL TECHNOLO.(2) TOKYO ELECTR.(2)
UNIV IMAM AB.(2) UNIV SEOUL N.(2)