国家/地区 欧洲专利局(EPO)(119)
IPC部 C(119)
IPC大类 C01(119)
IPC小类 C23C(119)
IPC C23C016/26(84) C01B031/04(69) B82Y040/00(47)
B82Y030/00(44) C01B032/186(44) C01B031/02(42)
C01B032/182(32) C01B032/194(29) C23C016/02(26)
C23C016/56(20) H01L021/02(19) C23C016/01(18)
C23C016/44(17) B32B009/00(14) C23C016/46(14)
发明人 KIM J(4) LEE E(4) VEERASAMY V(4)
VEERASAMY V S(4) COJOCARU C(3) HWANG T(3)
LI Y(3) LIU X(3) MUELLEN K(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) WANG Y(3)
ZENASNI A(3) BEDWORTH P V(2) BOEHM S(2)
公开年 2015(21) 2013(16) 2017(14) 2021(14) 2012(10) 2016(10) 2011(9) 2014(6) 2022(6) 2018(4) 2010(3) 2020(3)
申请年 2013(17)  2014(14)  2016(13)  2012(12)  2011(11)  2015(10)  2020(9)  2021(9)  2017(8)  2010(5)  2019(3)  2008(2)  2009(2)  2018(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6) COMMISSARIAT.(5) CORNING INC(4) GUARDIAN GLA.(4)
GUARDIAN IND.(4) BASF SE(3) CENT NAT REC.(3) ECOLE POLYTE.(3)
GUARDIAN IND(3) MAX PLANCK G.(3) POSCO(3) UNIV SINGAPO.(3)
AIXTRON SE(2) CEALTECH AS(2) COMMISSARIAT.(2) CONSEJO SUPE.(2)
HEIQ MATERIA.(2) ISIS INNOVAT.(2) LOCKHEED MAR.(2) POSTECH ACAD.(2)

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S