国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(6) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 德国(2) 日本(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10) H01L(7) B82Y(4)
C01B(4) G03F(4) H01G(2)
H05K(2)
IPC C23C016/04(10)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2)
公开年 2022(4) 2014(3)
申请年 2013(4)  2022(2) 
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)