国家/地区 | 美国(6) 世界知识产权组织(6) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 德国(2) 日本(2) 新加坡(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)![]() |
IPC小类 |
C23C(10)
H01L(7)
B82Y(4)
C01B(4) G03F(4) H01G(2) H05K(2) |
IPC |
C23C016/04(10)![]() |
发明人 | OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2) |
公开年 | 2022(4) 2014(3) |
申请年 | 2013(4) 2022(2) |
专利权人 | UNIV SINGAPO.(2) |
MENTOVICH E, ATIAS B, NAVEH D, LEVI A, SMOLINSKY E Z B
LEPPAENIEMI J, SNECK A
PARAYIL VENUGOPALAN S, KURGANOVA E, FARAMARZI V
WU X, RUI L, ZHANG Q, LU J, LI Y
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B