国家/地区 美国(10) 韩国(9) 世界知识产权组织(8) 中国(6) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/26(11) C01B031/02(10) C01B031/04(7)
B82Y040/00(6) B82Y030/00(5) H01L021/205(4)
H01B001/04(3) H01L021/02(3) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) H01L051/30(3) B32B018/00(2)
B82B003/00(2) C23C016/56(2) H01L021/027(2)
发明人 CHOI J(2) CHOI J Y(2) SHIN H(2)
SHIN H J(2) WOO Y(2) WOO Y S(2)
YOON S(2) YOON S M(2)
公开年 2012(13)
申请年 2012(13)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG TECH.(2)