国家/地区 日本(47) 美国(45) 韩国(22) 世界知识产权组织(19) 中国(12) 欧洲专利局(EPO)(8) 台湾(8) 德国(6) 新加坡(2)
IPC部 C(68)
IPC大类 C01(68)
IPC小类 C01B(68)
IPC H01L021/28(68)
发明人 SAKAI T(7) YAMAZAKI Y(6) MIYAZAKI H(5)
KATAGIRI M(4) MATSUMOTO T(4) WADA M(4)
BUSCH J(3) IFUKU R(3) KONDO T(3)
LINDAMOOD L(3) AHN J(2) AHN J H(2)
HIROOKA M(2) HIURA H(2) JIPPO H(2)
公开年 2013(10) 2015(10) 2014(8) 2017(7) 2012(6) 2016(6) 2010(5) 2011(5) 2018(5) 2020(2) 2021(2)
申请年 2015(10)  2014(9)  2011(8)  2013(8)  2016(7)  2012(6)  2010(5)  2009(3)  2017(3)  2008(2)  2019(2)  2020(2) 
专利权人 TOSHIBA KK(9) FUJITSU LTD(7) DOKURITSU GY.(6) TOKYO ELECTR.(5)
NAT INST ADV.(4) SAMSUNG ELEC.(4) PANASONIC CO.(3) VAON LLC(3)
EMPIRE TECHN.(2) HITACHI LTD(2) INFINEON TEC.(2) NEC CORP(2)
POSTECH ACAD.(2) UNIV SUNGKYU.(2) UNIV SUNGKYU.(2)